株式会社村田制作所（公司总部：京都府长冈京市，代表取缔役会长兼社长：村田恒夫）研发了有助于IoT设备和可穿戴设备等的小型化和低功耗的超小32.768kHz*1 MEMS*2谐振器*3（以下简称本研发品）。
市场要求IoT和可穿戴所用的电子设备能小型化、长时间运转，于是构成电子设备的电子元器件也就要更小型化和省电。尤其是谐振器，在众多的电子元器件中，低功耗谐振器的需求更急切，以期持续恒定工作，使设备能正常发挥功能。
本研发品充分利用已被汽车等行业采用的Murata Electronics Oy（原VTI Technologies）的MEMS技术，达到了比现有小型产品更小50％以上、低ESR*4特性、出色的频率精度和低功耗。
通过MEMS技术达到小型化，并实现了与晶体谐振器相同的初始频率精度（±20ppm）以上的频率温度特性（160ppm以下）。（工作环境：-30〜85℃）
主要特点如下。
产品尺寸为0.9 x 0.6 x 0.3mm（宽 x 长 x 高），比传统的32.768k kHz晶体谐振器更小了50% 以上*5。
生成基准时钟信号的电路需要2个多层陶瓷电容，而本研发品已内置6.9pF静电电容。由此贴装时能大幅减少空间，使电路设计的自由度更大。
普通晶体谐振器存在尺寸越小ESR越高的有待解决课题，而本研发品通过低ESR(75kΩ)化，降低了半导体集成电路的增益，从而生成稳定的基准时钟信号，实现低功耗（比传统产品减少13％）。（根据本公司测定结果）
通过使用硅材料的WL-CSP（Wafer-Level Chip Scale Packaging）封装，能内置于同质半导体集成电路进行封装。
计划将本研发品作为MEMS谐振器“WMRAG系列”，于2018年12月份开始量产。
本研发品将在2018年10月16日至19日幕张展览馆举行的《CEATEC JAPAN 2018》展会上在本公司展区里展出。
*1 数字电子电路容易达到1秒的高精度，故而被用作钟表和半导体集成电路驱动用基准时钟信号。
*2 是微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems），使用半导体制造工艺技术，具有3次元精细结构。
*3 是产生半导体集成电路工作时的基准时钟信号的无源器件。其稳定工作必须有由出色的谐振器产生的高精度、高稳定的信号。
*4 指等效串联电阻（Equivalent Series Resistance）。该值越小越容易生成稳定的时钟信号。
*5 比较尺寸是与1.2 x 1.0 x 0.3mm（宽 x 长 x 高）的同等产品相比较。（2018年10月份时）
村田制作所是一家全球性的综合电子元器件制造商，主要从事以陶瓷为基础的电子元器件的开发、生产和销售业务。致力于通过自身开发积累的材料开发、工艺开发、商品设计、生产技术以及对它们提供支持的软件和分析评估等技术基础，创造独特产品，为电子社会的发展做出贡献。 详情请单击此处链接
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