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ムラタは、3次元MEMSプロセスを用いた高性能で信頼性の高い加速度センサ、ジャイロセンサ、傾斜角センサをMuarta Electronics Oｙ社 (旧VTI) にて開発・生産し、グローバルに販売しています。 厳しい環境でも使用できることが特徴で、車載用途、産業機器用途、医療用途が主なターゲット市場です。
本MEMSセンサの特徴は、シリコンウエハを反応性イオンエッチングにて深掘りする3D-MEMS (3次元MEMS) という独自技術により、高精度な検出を実現していることです。3D-MEMS技術を採用することで、安定した工程で高い信頼性を持つセンサをリーズナブルな価格で提供することを可能にしています。
3D-MEMS技術の大きな特徴を以下に紹介します。
ムラタ3D-MEMS技術の特徴
車載市場は本MEMSセンサが最も得意としている市場のひとつで、車載システム向けの加速度センサでは世界トップシェアを誇っています。車の安全走行や事故防止に向けて横滑り防止装置 (ESC: ElectronicStabilityControl) 、アンチロック・ブレーキシステム (ABS: AntilockBrakeSystem) といったセーフティ機能が先進国を中心に新車への搭載が法制化されつつある他、電動パーキングブレーキ (EPB: Electronic Parking Brake) やヒルスタートアシスト (HSA: Hill Start Assist) といった新たな機能も次々に生まれています。ムラタは、新規ニーズに合った新商品を今後も開発します。
本MEMSセンサの需要は輸送機器、測定機器、建設機械といった産業用や、低侵襲診断機器や体内埋め込み型デバイスのような医療用途にも拡大しています。ムラタは、世界各国で異なるニーズの掘り起こしとお客さまへの商品提供を拡大します。
電気信号の引出配線構造の一つ。絶縁性のCAPウエハに貫通した導電性配線を設けている。
ウエハ接合の手法の一つ。ガラスウエハとシリコンウエハを重ね合わせた後に適切な温度と電界を加えることで、原子レベルの強固な接合を得ることができる。
Hill Start Assist (坂道発進補助装置) は坂道発進時に運転手が犯しやすい、車両の後退を抑制するシステム。
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