ムラタのグリーンシートプロセス技術は、スラリーの調合分散、シート成形、内部電極印刷、シート積層、プレスなど、数多くの工程が連携する複合的なプロセスです。
まず、セラミック粉末（主にBaTiO3：チタン酸バリウムやフェライト）をバインダーや溶媒と混合し、ペースト状にします。このペーストを薄く平らに延ばして乾燥させ、グリーンシート（未焼成セラミックシート）を作製します。グリーンシート上には、内部電極となるNi（ニッケル）などの金属材料を、印刷技術により精密に形成します。その後、シートを必要な枚数だけ積み重ねてプレス・カットすることで、多層構造を作り出します。
この多層構造は、積層セラミックコンデンサにおいてセラミックシートと金属電極が交互に積み重なった形となり、その総面積によって静電容量が決まります。
高い静電容量を、極めて小型なサイズで実現するためには、シートおよび電極をできるだけ薄く形成し、ずれなく積み重ねる精密なプロセス制御が不可欠で、これらすべてを高度に実現できることがムラタの強みとなっています。
グリーンシートプロセスのフロー図
挿入画像の参照元: コンデンサの基礎 【第3回】 チップ積層セラミックコンデンサができるまで